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“同志们辛苦了，我代表公司奖励项目组20万元！”
二十七日下午，接到魏建国的电话，光刻机电源厂制造成功第一台ArF准分子激光器样机，孙健第二天上午乘飞机来到京城，接见ArF准分子激光器样机项目研制和生产项目部成员代表。
十月中旬，夏季常团队研制成功5英寸晶圆、1um制程工艺的磁悬浮式双工作台系统。
GCA光刻机半导体研究院得到磁悬浮式双工作台系统的专利技术，为了早...
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