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“董事长,要是Nikon在我们之前,率先攻克157nm激光器技术,率先研发成功65nm制程工艺的光刻机,我们如何应对?”
CTO汤普森知道EUV光刻机不是短时间内能研制成功的,也主张两条腿走路,GCA研究院如今也在研发157nm激光器,由于GCA一直以研发EUV为主,157nm激光器的技术远不如Nikon和SVG,投资10美元,要是能够收购SVG,拿到SVG独有的157nm激光器...
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