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EUV LLC联盟的研发费用出资比例中，牵头的美国能源部出30%，Intel和GCA各出20%，Motorola、IBM、IT、ADM和HP各出4%，Micron和Cymer等其他33家科技企业和研究机构共出10%，今后享受的权利同出资比例相同。
GCA需要出资的20%中，以前的EUV研究成果折算15%。
GCA这些年为了研发EUV投资了1.5亿美元，取得了不少有关EUV...
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