第一一一八章 浸没式光刻系统遇到难题


小说:我的一九八五  作者:解剖老师
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节点五 ↓
  800nm制程工艺的专利技术对于GCA来说如同鸡肋,但对于BSEC如同神助,掌握后就能跨越1um制程工艺,拥有800nm制程工艺技术。

拥有了193nm的ArFi准分子激光器的制造技术和800nm制程工艺的专利技术,但BSEC还不能生产自主知识产权的1um制程工艺的光刻机。

为了将来不被美国政府卡脖子,未雨绸缪,BSEC要掌握生产光刻机的三大核心技术:光源系统、光学系统和...
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